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Los pasadores de registro y los pasadores emergentes coexisten en la parte superior de la mesa, los pasadores de registro son convenientes para la alineación (wafer de 5" y 6"), los pasadores emergentes son convenientes para la descarga después de la impresión.
Modelo | AT_25PSC |
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Tamaño de la mesa | 250x270mm |
Área de vacío | 140x140mm |
Área máxima de impresión | 156x156mm |
Tamaño máximo del marco exterior | 500x500mm |
Productividad | 510 P/H |
Altura del marco | 25〜27mm |
Consumo de energía | 0.83KW |
Extracción de aire | 6.88L/min |
Dimensiones de la máquina | 735x680x1600mm |
Peso de la máquina | 185kg |
Los pasadores de registro y los pasadores emergentes coexisten en la parte superior de la mesa, los pasadores de registro son convenientes para la alineación (wafer de silicio de 5" y 6"), los pasadores emergentes son convenientes para descargar manualmente, la sección de registro está equipada con 6 cámaras CCD para detectar el objetivo en la oblea o en el borde y enviar retroalimentación al sistema de control para comparar la posición, el sistema de transmisión del motor servo X/Y/θ se activa para mover la plataforma de registro a una posición precisa (junto con el sustrato en la parte superior de la mesa) para lograr la alineación
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